Dipl.-Ing. Volker Schurig
Mikrosystemtechnik / Reinraum
Labor Mikrosystemtechnik
Ansprechpartner
Prof. Dr.- Ing. Glück
Frau Schicketanz
Räumlichkeiten
Raum 14E430 - 14E437 "Reinraum" Tel. 85560
Raum 14E427 "Präparation" Tel. 85566
Ausrüstung und Arbeitsplätze
Vorbemerkung:
Alle Arbeitsplätze zur Bearbeitung von Si - Wafern sind für 3" und 4" Wafer ausgelegt.
Naßarbeitsplätze zum Reinigen von Substraten
Arbeitsplätze zum naßchemischen Ätzen von Si, SiO2 und Al
Einrichtungen zur Resistbeschichtung
Justier- und Belichtungseinrichtung
Bedampfungsanlage
Oxidations - und Diffusionsanlage
Vierspitzenmeßplatz
Schichtdickenmeßplatz
Plasma Reinigungs- und Ätzeinrichtungen
Schleif- und Präparationsarbeitsplätze für Proben
Versuchsplätze
Die vollständigen Versuchsanleitungen finden Sie unter
Laborversuche
(FHL only)
MST01
"Reinigung und Naßprozesse an Si - Substraten"
MST02
"Naßätzen (Si, SiO2) und Trockenätzen (Resiste)"
MST03
"Oxidation, Temperung und schnelle thermische Prozesse"
MST04
"Lithografie - Strukturübertragung und -erzeugung"
MST05
"Bedampfen von Si - Scheiben mit Metallen (Al, Cu)"
MST08
"Präparation von Teststrukturen für die Werkstoffdiagnostik"
MST12
"Charakterisierung des MOS - Systems durch NF - HF - CV Messungen"
MST13
"MIS - Technologie zur Herstellung einer Si - Photovoltaikzelle"
Angebote
Entwicklung zu technologischen Teilschritten wie Metallisierung, Lithografie, Ätzen
Prozesskontrolle und Diagnostik zum System Halbleiter - Isolator, an Bauelementen und zur Bewertung von Anlagen bzw. Verfahren
Elektronenmikroskopische Untersuchung an Werkstoffen einschließlich Präparation
Trainingsprogramme für technologische Prozesse und Werkstoff- und Technologiediagnostik
Energieversorgungseinheiten für Mikrosysteme unter Verwendung von Mikrogeneratoren, Photovoltaik, Piezoelementen, u.s.w.
Bilder aus diesem Labor
Diese Seite wurde zuletzt am
09.08.2001
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Dipl.-Ing. Volker Schurig
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